近日,安捷伦科技发布了全新的CombiNEG吸气剂复合型离子泵。该产品大大增强了超高真空时离子泵的抽气能力,为超高真空、极高真空系统的设计提供了新的选择。
据悉,CombiNEG系列最大可复合2000L/s的吸气剂泵,其开启工作时可将前级泵隔离封闭抽气,可靠性高,所需电流极小,对环境磁场的影响也很小,并且无油无振动,非常适合粒子加速器、表面科学仪器和设备等需要超高真空、极高真空的系统。双泵复合单一抽气口的设计,使其结构很紧凑,安装使用也更简单。
在结构上,CombiNEG系列采用安捷伦科技(AgilentTechnologies)独特的StarCell离子泵抽气单元和赛斯集团(SaesGroups)的烧结型非蒸散型吸气剂(NEG)。
StarCell的专利设计使CombiNEG能够抽除大量惰性气体,该离子泵可以以最高速度和最大容量处理甲烷、氩气和氦气等惰性气体。
而NEG是SAES集团于上世纪七十年代开发的。非蒸散型吸气剂对氢气、水蒸气、氮气、氧气等活性气体有很大的抽速,其通常与溅射离子泵、涡轮分子泵或者低温泵等其他真空泵结合使用,以改善系统的极限真空或者减少抽气时间。
安捷伦真空(原瓦里安真空)是离子泵的发明者,赛斯是NEG吸气剂泵的始创者,两家公司有累计超过100年的真空经验。此次的吸气剂复合离子泵采用了各自最尖端的技术,两家公司充分的信任和紧密的合作促成了这一全新产品的问世,我们期待更多类似的合作,和更多让我们眼前一亮的产品。
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